超临界清洗机

南通睿智超临界科技发展有限公司是一家致力于超临界流体工艺开发和装备制造一体化的高科技公司，公司已通过（GB/T19001-2016/ISO9001：2015）质量体系认证专为客户定制实验、中试和工业化的超临界流体萃取、反应、干燥、超细微粒等设备。

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超临界CO₂萃取设备

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超临界清洗机

针对半导体芯片粘接前处理、塑封前处理、光刻胶去除、金属键和前处理。推出了一系列高效、精密、节能的清洗设备和方案:

序号	主要配置	参数
1	清洗腔	尺寸：根据客户要求定制，能满足各种尺寸的圆晶盘的清洗工艺需求。（2、4、6、8、12寸）压力：35MPa-50MPa可调，温度：室温-200℃可调，晶圆转速：0-3000 rmp可调，在高速转动时保持晶圆的平衡、稳定及安全固定；多层结构：可同时对多张晶圆同时清洗（不低于3张）观察视窗：可观察清洗腔内的工作状态，超临界流体可同时分布至每张晶圆。
2	预混釜	容积：根据清洗腔定制压力：35MPa-50MPa可调，温度：室温-200℃可调，釜体结构根据客户要求定制
3	收集器	容积：根据清洗腔定制压力：10MPa-20MPa可调，温度：室温-200℃可调，釜体结构根据客户要求定制
4	净化过滤	压力16MPa
5	泵	CO2高压泵及夹带剂泵，流量压力可调根据清洗工艺配置
6	制冷系统	5℃-10℃
7	安全系统	高压泵及所有容器进出口均配置有过压保护装置，安全连锁装置与PLC控制系统连接及安全阀，保证系统的安全
8	PLC控制系统	所有设备均可配置PLC控制系统，自动控制萃取和分离压力及流量，温度等参数
9	用户自备	1.CO2气源（食品级＞99.9%） 2.水源（去离子水） 3.制冷剂（乙二醇）