与超临界萃取类似的亚临界指物质存在的状态条件，是指某些物质在温度高于其沸点但低于临界温度，以流体形式且压力低于其临界压力存在的物质。当温度不超过某一数值，对气体进行加压，可以使气体液化，而在该温度以上，无论加多大压力都不能使气体液化，这个温度叫该气体的临界温度。在临界温度下，使气体液化所必须的压力叫临界压力。

这种萃取方法是低温加工，可提取出质量较好的有效成分，无溶剂残留。但是，设备一次性投入较大，因为在高压力状态下进行萃取，萃取缶体积较小（最大的1000升），生产能力有限，无法形成工业化大规模生产，产品成本高。加入少量的极性溶剂，可以使超临界CO2萃取设备的适用范围进一步扩大到极性较大化合物。

超临界CO2萃取设备温度的变化体现在影响萃取剂的密度与溶质的蒸汽压两个因素，在低温区（仍在临界温度以上），温度升高降低流体密度，而溶质蒸汽压增加不多，因此，萃取剂的溶解能力时的升温可以使溶质从流体萃取剂中析出，温度进一步升高到高温区时，虽然萃取剂的密度进一步降低，但溶质蒸汽压增加，挥发度提高，萃取率不但不会减少反而有增大的趋势。

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